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無塵室潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，無塵室哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
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無塵室如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的a級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于a級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1k級別。
無塵室內之空氣過濾器(hepa)進入潔凈室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
無塵室優點:構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
10萬級無塵室換氣次數一般在25次左右;
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無塵室10萬級無塵室的潔凈標準
1.塵粒最大允許數（每立方米）；
3.微生物最大允許數；
4.浮游菌數不得超過500個每立方米；
5.沉隆菌數不得超過10個每培養皿。
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無塵室壓差:相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰無塵室之間壓差要≥5Pa，無塵室與非潔凈室之間要≥10Pa。
十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
配電:無塵室（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
無塵室層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為class1~100。其型式可分為二種:
無塵室水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
無塵室優點:構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
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